Le processus de production de tiges de carbure de silicium (éléments chauffants SiC) implique plusieurs maillons clés qui doivent être strictement contrôlés pour garantir les performances et la fiabilité du produit. Voici les points de contrôle clés et les points de contrôle du flux de processus :
1. Préparation et dosage des matières premières
Points clés :
● Pureté et granulométrie de la poudre de carbure de silicium (SiC) : la poudre de SiC de haute pureté constitue la base, et la distribution granulométrique affecte directement la densité et la conductivité du frittage.
● L'utilisation de liants et d'additifs spéciaux peut garantir l'uniformité de la dispersion des matières premières et réguler la résistivité électrique.
Mesures de contrôle :
● Contrôle d'entrée des matières premières (pureté, granulométrie, teneur en impuretés).
● Adopter un processus de mélange humide ou sec pour garantir l'uniformité.
● Optimiser le ratio grâce à des-expérimentations à petite échelle.
2. Processus de moulage
Points clés :
Densité et uniformité de formage : affectant directement la résistance structurelle et l'uniformité thermique après frittage
● La valeur de la pression de moulage doit dépasser 16MPA, généralement entre 17 et 18MPA. Si la valeur de pression est trop faible, la densité de la tige en carbure de silicium est faible et sujette à la flexion, tandis que si la valeur de pression est trop élevée, il est facile d'endommager le moule.
● Observez la planéité et vérifiez si le centre du trou de la tige est centré et s'il y a un écart.
● Test de densité : si la densité de la tige en carbure de silicium ne répond pas aux exigences spécifiées, la tige en carbure de silicium a tendance à se couper. De plus, la densité peut être grossièrement identifiée par le nombre de pores sur la pointe du stick. Un nombre plus élevé de pores indique une densité plus faible, tandis qu'un nombre inférieur indique une densité plus élevée.
Mesures de contrôle :
● Contrôlez la pression, la vitesse et la conception du moule de moulage.
● Utilisez un détecteur de densité pour surveiller l'uniformité de la densité du corps vert.
● Évitez le délaminage ou les fissures internes.
3. Processus de frittage
Points clés :
● Température et atmosphère de frittage : il doit être effectué dans une atmosphère inerte (telle que l'argon) ou sous vide, et la température est généralement supérieure à 2 000 degrés.
● Vitesse de chauffage/refroidissement : une vitesse trop rapide peut provoquer des fissures, tandis qu'une vitesse trop lente peut affecter l'efficacité de la production.
● Test de résistance : vérifiez en temps opportun la valeur de résistance de la tige en carbure de silicium fritté pour voir si elle répond aux exigences de valeur de résistance spécifiées.
Mesures de contrôle :
● Utilisez un four de frittage-à haute température pour contrôler avec précision la courbe de la zone de température.
● Surveiller la pureté de l'atmosphère.
● Détectez la porosité, la densité et la microstructure à travers des échantillons frittés.
4. Inspection de la tige finie
Points clés :
● Testez la résistance de la tige de carbure de silicium finie après le soudage pour voir si sa résistance répond aux exigences.
● Inspectez l'apparence de la tige de carbure de silicium finie pour détecter tout défaut et mesurez si l'extrémité chauffante et le diamètre de la tige répondent aux exigences.
● Contrôle par échantillonnage pour déterminer si la densité des tiges de carbure de silicium répond aux exigences spécifiées.
Conclusion:
Le cœur de la production de barres de carbure de silicium réside dans « l'homogénéisation des matières premières, le frittage de précision et la standardisation des tests ». En surveillant l'ensemble du processus de production et en effectuant des inspections strictes des processus, la cohérence et la fiabilité des produits peuvent être améliorées.
